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电子无尘车间净化暖通参数一般为多少?

您好,我想了解下关于电子无尘车间净化暖通参数一般为多少?相关问题,希望贵公司能解答,谢谢!
回答时间:2018/8/9 14:53:27   阅读量:10   评论:0   关键字:电子无尘车间净化

由于电子行业生产工艺种类繁多,电子无尘车间净化对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求也不同,范围一般在0.1~5um;对相对温湿控制的要求相对较高的,如集成电路前道工序,一般要求室内温度基数为22℃(精度±0.1~1℃),相对湿度基数为40%(精度±2%~5%);正压值要求梯度级别,随着洁净度的变化而从高到底变化,差值为5~10Pa。

 

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曹则雨

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